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在真空设备的使用过程中，由于多种因素的影响，经常会出现一些故障。为了保证真空设备的正常运行，必须对相关零件进行修理。
故障无法正确判断和分析，盲目大规模拆卸屡见不鲜。
因为有些维修人员对真空设备的结构和原理不清楚，没有认真分析故障原因，不能准确判断故障位置，抱着“大概，差不多”的想法盲目拆机卸机。结果，不仅原来的故障没有消除，而且由于维护技能和技术差，出现了新的问题。因此，当机器发生故障时，应该由检测设备进行检测。如果没有检测设备，结合真空设备的结构和工作原理，通过“问、看、查、试”等传统故障判断方法和手段，可以确定最有可能发生故障的位置。
判断真空设备故障时，常用“排除法”和“对比法”，按由简单到复杂、先外后内、先装配后零件的顺序进行，避免“乱拆乱瞎拆”。
原因是这样的人还缺乏对真空设备及相关电工机械知识体系的系统学习和培训，缺乏对真空设备操作流程和关联性的认知，盲目一步一个脚印。
修理真空设备时，正确清除零件表面的油污和杂质，对提高修理质量和延长机械使用寿命具有重要意义。由于零件清洗不仔细、清洗剂选择不合理和清洗方法不当，一些维修单位经常发生零件早期磨损和腐蚀损坏。
