当需要检修真空泵时，必须先切断机械真空泵的连接管道，确保机械真空泵已通大气压，然后让机械真空泵冷却，可先将泵内的真空泵放出，泵内的油排净冷却20分钟后才能拆开机械真空泵。

真空设备预防维修是指根据设备的运行周期和使用频率，预先确定设备的状况，进行维修。

预防性维修有两种具体方式，一是定期进行预防性维修，即根据设备耗损周期计划对真空设备进行检修；二是状态维修，即对设备状态进行监测，发现隐患或潜在故障，及时安排适时维修，使故障消灭于萌芽状态。

预防性维护的另一个形式是机会维护。也就是利用生产淡季、假日、周末或上下游停机检修的机会进行预防性维修。机遇修理的“机遇”可以适当地延长检修周期，也可以适当地缩短检修周期，经证明，这种延长或缩短不会对设备造成重大损害。这种预防维修又称机会维修。无论采用哪种维修方法，都是在设备出现故障之前进行处理，以避免故障的发生。

与此同时，真空设备的预防性维修可以减少和避免意外停机，目前大多数企业都是按订单组织生产，客户的交货期要求非常严格，精益生产企业的准时、零库存成为典型特征。由于真空设备一旦因设备停机，必然影响到某个生产工序，此订单将受到影响，这将对企业的利益、信誉造成很大的损害。它的重要意义在于通过预防性维修，避免大量的意外停机，并确保按时交货。