真空镀膜是一种先进的镀膜技术。其具体工作原理是在高真空条件下加热金属或非金属材料，使其在工件(金属、半导体或绝缘体)表面蒸发凝结形成薄膜。主要起到保护工件的作用。这种涂层技术不仅是真空技术的重要应用体现，也是工具涂层技术的一个主要类别。实现真空镀膜的主要设备是真空镀膜机，根据不同的技术要求可以分为多种类型，包括真空蒸发镀膜和溅射镀膜。然而，在使用过程中，真空镀膜机经常会出现一些故障。因此，用户有必要了解故障的原因，并进行相应的技术测试来解决故障。

问题:废气在泵附近泄漏。

原因:

1.排气口o形密封圈损坏。

2.油箱表面的垫圈损坏。

3.泵体表面的密封垫损坏。

解决方法:

1.更换新的密封圈。

2.更换油箱表面的垫圈。

3.更换泵体表面的密封垫。

问题:浓烟或油雾。

原因:

1.太多油了。

2.压载阀打开。

3.机油滤清器损坏。

解决方法:

1.减少油量。

2.关闭压载阀。

3.更换机油滤清器。

问题:油变暗或混浊。

原因:

1.油在肮脏的过程中被污染了。

2.油不合适。

3.机油不足。

4.真空泄漏率过高。

5.惰性保护气体不足。

解决方法:

1.更换或清洁泵油。

2.清洁后使用指定的泵油。

3.加注足够的泵油。

4.修理泄漏或更换泵油。

5.当工艺中含有腐蚀性、危险或放射性气体时，必须添加足够的保护气体。