整套设备的日常维护：

(1)操作人员要熟悉各种仪表、泵，设备的各部分。阅读并理解各种说明书。

(2)冷却水水压应保持0.1〜0.2 Mpa之间，出水温度w 45C。

(3)压缩空气压力在0.4〜0.5 Mpa之间。

(4)每炉开机前，要检查保护气的气瓶容量，以免气体充不足，更换气瓶。 

(5)开机后如有异常情况，应立即排除或停机查找原因。

 (6) 经常检查各部分的回水量，工作时应保证各部分有充足的冷却水。

(7)设备停止使用时，应将炉内气体抽空，长时间不用，要充入保护性气体，并把设备水冷套内的循环水放掉。

(8)机械泵、罗茨泵应定期换油加油，罗茨泵的油杯中要保持一直有油。换油时一定要把废油放干净。

(9)扩散泵换油时，内部如有氧化，要把扩散泵内部的氧化层处理干净，然后再换上新油。

(10)充入的保护性气体，纯度不应小于99.99%。

(11)本设备不允许使用易燃易爆和具有腐蚀性气体作为保护气氛。

(12)设备表面及仪表表面要保持清洁，擦拭炉体内壁不允许有 带有水份及沾有非真空类用油的抹布擦拭。

(13 )气动系统的气动三连件上的油水分离器要经常放水，油雾器内应注入真空扩散泵油。

(14)设备的整机电压要保证在350〜420 V范围内。三相要平衡。

(15)规管、电接点压力表、热偶等处要经常涂上扩散泵油，使之与座之间形成一层油膜，防止漏气。以 上各部分及法兰连接处不允许长期使用真空封泥密封。

(16 )各部分的螺栓定期检查，如发现松动，及时拧紧。

(17)设备工作时，注意观察各仪表的显示情况，及各泵的声音，以便及时发现异常，找出真空系统安装及制成方案问题。

（18 ）设备的使用环境，在相对湿度85%A下，温度在10〜40 C。在拆修设备时，各部分不

 许用重锤敲击，密封面、密封槽不许划伤。

（19）设备在工作时，操作人员不得长时间离岗。