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如果扩散泵或机组长期使用后泵送性能逐渐变差，即极限真空度和泵送速度降低，而其他条件正常，主要原因是扩散泵油逐渐氧化，质量变差。此时，应更换新的扩散泵油。换油步骤:首先拆下扩散泵，取出泵芯，按要求清洗并干燥泵芯，然后正确组装并添加新油。
如果扩散泵由于特殊原因突然泄漏到大气中，如真空计管破裂、误开真空容器的排气阀或未关闭高真空阀，应立即关闭高真空阀，停止扩散泵的加热，迫使油底壳冷却。故障排除后，应进行泵送试验，并根据结果判断扩散泵油是否需要更换。
可以在扩散泵的冷却水管出口(而不是进口)安装流量计。借助流量计信号，系统控制器可以切断扩散泵的电源，关闭高真空阀门和前级管道阀门。扩散泵的冷却水管入口处使用水过滤器，以防止污染和堵塞水管，并避免过早维护。安装在扩散泵泵壳外的恒温开关和安装在锅炉上的热敏开关可以检测泵壁和泵油的工作温度，也可以监测泵工作液的液位。当真空室有泄漏孔时，热电偶表或皮拉尼表控制器上的设定值给出自动控制器信号，以便在前一级压力过高时，可以关闭高真空阀并断开扩散泵电源。许多液氮装置配有低液位报警传感器，当制冷剂耗尽时，该传感器会关闭高真空阀。
