真空镀膜设备的维护和保养方法

2021-01-11 17:41:09

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除了电力以外，真空设备内部不能依赖其他公共资源。要求依靠水和油来生产真空设备存在的问题是：由于水的蒸发和变质，使真空设备在盘车运行时密封受到破坏；由于油来生产真空设备在这种工况下会引起油乳化，进而损坏，而采用自动定期盘车是确保运行设备始终保持良好运行的重要方法之一。

负压电镀设备的维护和保养方法：

真空镀膜设备每完成200个镀膜过程以上，清洗工件一次。

真空室内壁上重复使用烧碱(NaOH)饱和溶液擦拭(注意人体皮肤不能直接接触烧碱溶液，以免灼伤)的目的是使镀膜铝(AL)与NaOH发生反应，反应后的膜层脱落，释放氢气。再次用清水清洗真空室及用布沾汽油清洗精抽阀内污垢。

真空镀膜设备

粗抽泵(滑阀泵、旋片泵)若连续工作一个月(雨季减半)，需更换新的油品。

做法：拧开排油螺栓，把旧油排掉，重新启动泵几秒钟，使泵内旧油完全排出。旋回卸下螺栓，并加入新油定量(用油镜观察)。持续使用半年以上，换油时应打开油盖，用布擦净油箱内的污物。

重开设备前应注意检漏。

经6个月连续使用，扩散泵的抽气速度明显减慢，或操作不当，充气、拆管、卸电炉盘，拧开一级喷嘴，先用汽油将泵腔和泵胆清洗一遍，再用洗涤剂兑水清洗一遍，然后用清水彻底清洗干净，待水挥发干后，装上泵胆，加入新的扩散泵油，再装回机身，接上管子，装上电炉盘，即可重新启动。重开设备前应注意检漏工作。

办法：启动维持泵，关闭阀门，数分钟后，观察扩散泵部分是否真空度达到6X10帕，否则要进行检漏。确认连接处是否有密封胶圈，或密封胶圈被压坏。排出泄漏隐患后方可加热，否则扩散泵油会烧环，真空镀膜设备不能正常工作。