油扩散泵作为低蒸汽压油运行。目的是通过容积式泵获得比仅可能获得的更高的真空(低压)。虽然它的使用主要与高真空范围(低至10-9毫巴)有关，但今天的扩散泵产生的压力接近10-10毫巴，适用于现代流体和附件。扩散泵之所以具有高真空和超高真空的吸引力，是因为它对所有气体的抽吸能力强，单位成本的抽吸速度低，而且它的速度与其他类型的泵在相同的真空范围内使用。扩散泵不能直接排放到大气中，因此通常使用反向机械泵来保持约0.1毫巴的出口压力。

油扩散泵主要由泵体、扩散喷嘴、蒸汽管、油底壳、加热器、扩散器、冷却系统和喷嘴组成。当前级泵将油扩散泵预抽至低于1帕的真空时，油底壳可以开始加热。沸腾时，喷嘴喷出高速蒸气流，热的运动气体分子扩散到蒸气流中，与定向运动的油蒸气分子碰撞。因此，气体分子获得动量，产生与油蒸汽分子相同方向的定向流动。到前一级，油蒸汽冷凝释放气体分子，被前一级泵抽走，达到抽气的目的。

真空泵的油泵启动快，耗电少，运行维护成本低，抽气速度快，效率高，对抽入气体中含有的少量水蒸气和灰尘不敏感，在~Pa的压力范围内抽气速度大，可快速清除突然释放的气体。那个压力范围正好在油封机械设备的真空泵和扩散泵之间。因此，常将固体空气泵油串联在被扩散泵送的油封机械设备的固体空气泵之间，以提高中压类的泵送能力。当时也叫机械设备的压力泵。