真空检漏法:是指管道和检漏仪的敏感元件处于真空状态，将泄漏物质施加到管道外部的方法。如果有泄漏孔，泄漏物质将通过泄漏孔进入被测零件和敏感元件的空间，泄漏物质将被敏感元件检测到。主要有真空计法、静态升压法和氦质谱检漏仪法。

氦质谱检漏仪因其灵敏度高、性能稳定而广泛应用于真空系统。对于大型真空系统，考虑到检漏的经济性和可操作性，常采用注氦真空检漏法。检漏一般要求检漏灵敏度高，反应和去除时间短，但容器体积过大容易造成两者之间的矛盾，造成漏检、漏孔位置难以确定，甚至无法实施检漏等问题。

氦气检漏法被认为是世界上常用的泄漏检测方法之一。消除了气泡检漏法检漏灵敏度低、判断困难、误判多的缺点；也消除了卤素检漏法易受干扰、维护成本高等缺点。氦气检漏具有检漏灵敏度高、准确、清洁、无腐蚀、无干扰、显示直观清晰等优点。北京易科创新真空系列充氦回收检漏系统(以下简称易科创新检漏系统)不仅具有汽车空调蒸发器、冷凝器、压缩机检漏的普遍优势，还具有操作方便、工作节奏快、误判率低的独特特点。

氦质谱检漏仪是一种使用示踪气体氦的特殊检漏仪。性能稳定，灵敏度高。它是真空检漏技术中的成熟设备，应用广泛。为了工厂工人的安全和环境保护，氦质谱检漏仪已经成为化工管道泄漏检测的选择。