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离子镀膜机能细分那些设备

2021-01-19 17:03:08

工模离子镀膜机、柔性基材卷绕式镀膜机、多功能复合镀膜系统、射频等离子炬及废料焚烧系统、射频等离子球化技术及设备、各类逆变开关电源、专用电源、自控电源、真空测量仪及其他非标设备等。复合型离子镀膜工艺与设备。本实用新型采用电弧、磁控溅射和离子源相结合的镀膜工艺,具有膜层密度高,附着力强等特点。利用真空脱泡机和各种类型的配强、沉积速度快和能使基材表面合金化等特点,可以制备出各种金属化合物特别是金属氮化物薄膜。

根据应用领域的不同,镀膜机可分为电子枪蒸发式镀膜机、磁控溅射镀膜机、等离子式镀膜机、射频镀膜机等,但它们的结构基本相同,以光学镀膜机为例,其主要由三个部分组成:真空体-真空腔,辅助排气系统(包括排气系统,测量系统),蒸发系统(包括坩埚和旋转控制系统,电子枪),成膜控制系统。

离子镀膜机

负压镀膜机:是指在真空条件下,由金属、半导体、绝缘体及其它单质或化合物薄膜镀制薄膜层。尽管化学气相沉积也可采用减压、低压或等离子体等真空方法,但一般真空镀指的是通过物理方法沉积薄膜。负压式镀膜机的镀膜方式有蒸发式、溅射式和离子式三种。蒸镀:通过加热蒸发某些物质,使其沉积在固体表面上的过程,叫做蒸镀。现在已经成为一种常用的镀膜技术。


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