采用真空压力法检漏时，需要将整个待检产品放入真空密封室中，真空密封室与辅助排空系统和检漏器相连。待测产品的充气接口通过连接管道引出真空密封室，然后与氦气源连接。当被测产品表面有漏孔时，氦气会通过漏孔进入真空密封室，然后进入氦质谱检漏仪，从而实现被测产品总泄漏率的测量。

真空检漏法:是指管道和检漏仪的敏感元件处于真空状态，将泄漏物质施加到管道外部的方法。如果有泄漏孔，泄漏物质将通过泄漏孔进入被测零件和敏感元件的空间，泄漏物质将被敏感元件检测到。主要有真空计法、静态升压法和氦质谱检漏仪法。

氦质谱检漏是真空检漏领域不可缺少的技术。它具有检漏效率高、操作简单、仪器响应灵敏、精度高、不易受其他气体干扰等优点，在泄漏检测中得到广泛应用。氦质谱检漏仪是一种基于质谱原理的气密性检测仪器，采用氦作为气体泄漏指示器。它由离子源、分析器、收集器、由冷阴极电离规组成的质谱室、抽气系统和电气部分组成。质谱室中灯丝发出的电子在室内来回振荡，与通过漏孔进入室内的室内气体和氦气碰撞，使其电离成正离子。这些氦离子在加速电场的作用下进入磁场，由于洛伦兹力而发生偏转，形成圆弧轨道。改变加速电压可以使不同质量的离子通过磁场和接收槽到达接收电极并被探测到。氦注入法和氦吸收法是氦质谱检漏仪检漏中最常用的两种方法。