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在真空设备发生故障时，不要急于下结论，不要急于拆调设备，要仔细分析故障现象，先用真空仪表大概判断设备状态。在保证真空获取无问题的前提下，对真空泵进行独立测试，并对整个真空装置进行检测。根据问题讨论的原则，进行真空检漏，选择检漏仪和检漏方式。进行静压试验，判断漏、漏气体。再分段整体检漏，找出漏点，确定其漏率大小。按照以上的真空维修方案，在理论与实践的结合上，我们对几种真空冶金炉、真空热炉、真空镀膜机、真空钎焊炉及各种真空校准检测装置进行了实践，取得了较好的效果。
检查真空封泥方法，将真空封泥逐个封住可疑漏点，注意观察真空度的变化，假如贴在真空封泥上的真空度上升很快，脱落有明显的下降，说明这是漏点。该方法在实际应用中，应用较少。
真空仪的漏电检测方法，一些真空计的读数，与气体的种类有关，如热偶计、离子化真空计。选择合适的气体或液体作示漏物，这些真空计便成了检测器，一般镀膜机上都有真空计，使用方便，也是一种常用的检漏方法。热偶计仪使用的漏液物质有，二氧化碳、丁烷、酒精等，热偶计仪反应缓慢，需要仔细观察。离子测漏仪使用的示漏物有氦、氩、酒精等。
本方法只适用于玻璃真空系统，高频火花检漏。首先把系统抽真空，高频火花检漏器的火花端部沿玻璃表面移动，火花集中成束形成亮点，即为漏孔位置。
