如果真空设备出现故障，我们的经验就是不要急于下结论，不要急于拆卸和调整设备，要认真分析故障现象，首先要使用真空仪器粗略地判断设备状态。然后分别测试真空泵和整个真空单元，以确保毫无问题地获得真空。进行真空检漏，根据问题讨论的原理进行检漏，选择检漏仪和检漏方法。执行静态增压测试以确定空气泄漏和放气。然后进行分段和整体泄漏检测以找出泄漏点并确定其泄漏率。根据上述真空维护计划，结合理论与实践，实践了一些真空冶金炉，真空加热炉，真空镀膜机，真空钎焊炉以及各种真空标定检测装置，成功解决了设备故障，取得了良好的效果。

真空系统的故障通常分为两类：一类是真空泵组和测量系统的故障，另一类是真空系统的泄漏。对于这一类故障，请检查真空泵的极限真空度或更换质量好的真空计进行确认。对于第二种类型的故障，需要进行泄漏检测。半导体设备的泄漏检测中经常使用两种方法：静压泄漏检测和He质谱泄漏检测。静压泄漏检测方法是用阀门将真空室与真空泵组分开，并测量其内部压力的变化。 He质谱泄漏检测方法较为复杂。

在容器的制造过程中执行多次泄漏检测是超高真空容器制造过程的主要方面，与一般的机械制造过程不同。超高真空容器的泄漏检测不同于一般的高真空泄漏检测。一般而言，不允许在容器中泵送水压和气压的正压泄漏检测方法。由于超高真空容器的壁薄且焊接接头的强度低，正压泄漏检测可能会损坏容器并污染干净的真空容器。因此，氦质谱仪检漏仪用于超高真空容器的检漏。这种检漏方法可以发现非常小的泄漏，检漏精度为10-10 Pa.L / s。