真空检漏法：是指将管道和检漏仪的敏感组件置于真空状态，并将泄漏物质施加到管道外部。如果存在泄漏，泄漏的物质将通过泄漏进入被检零件和敏感元件的空间。一种通过敏感组件检测泄漏物质的方法。主要有真空计法，静态增压法，氦质谱检漏仪法。

氦质谱检漏仪由于其高灵敏度和稳定的性能而被广泛用于真空系统中的检漏。对于大型真空系统，考虑到泄漏检测的经济性和可操作性，经常使用氦气注入的真空泄漏检测方法。 。泄漏检测通常需要较高的泄漏检测灵敏度，较短的反应时间和去除时间，但是太大的容器体积可能会导致两者之间出现矛盾，从而导致诸如漏检和难以确定泄漏位置的问题，甚至无法进行泄漏检测。已实施。

对于当今世界上普遍使用的泄漏检测方法，氦泄漏检测方法被认为是方法之一。它消除了泄漏检测灵敏度低，难以判断以及对泡罩泄漏检测方法错误判断的缺点。它也消除了卤素检漏法的缺点，卤素检漏法容易受到干扰，维护成本高。氦气检漏具有以下优点：检漏灵敏度高，准确度高，清洁，无腐蚀，无干扰，显示直观清晰等。北京科一创新真空系列氦气充填泄漏检测系统（以下简称科一创新氦气）检测系统）在汽车空调蒸发器，冷凝器和压缩机泄漏检测中具有氦泄漏检测的共同优势。独特的功能，如操作便捷，节奏快，误判率低

氦质谱仪检漏仪是专门用于使用示踪气体氦气进行检漏的仪器。它具有稳定的性能和高灵敏度。它是真空泄漏检测技术中相对成熟的设备，并使用更常见的泄漏检测器。为了工厂工人的安全和环境保护，氦质谱检漏仪已成为化学管道检漏的选择。