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真空设备有很多种。根据你需要的不同真空度，选择不同类型的设备，一方面是设备本身的抽气速度和极限真空度，另一方面是你所处环境的密封性。实验中常用的真空设备，如循环水泵，是最常见的真空，可用于抽滤和基本旋转蒸发。如果是比较好的，隔膜泵，多级隔膜泵，旋叶片泵，油泵，分子涡轮泵等等。
真空设备维护的重点是判断故障。真空抽不上来可能有几个原因。需要查明原因是什么，是真空机组抽真空能力不足还是泄漏率高；或者两者都有。这时要耐心观察记录，找出故障。例如，当抽空时间相同且真空度较低时，关闭高压阀。如果真空计的指针快速下降，大多数情况下真空室会泄漏。这时候首先要找到泄漏点。比如真空计指针下降慢，大多数情况下真空机组抽真空能力不够。这时可以重点找真空泵和阀门，看看哪里有泄漏，或者扩散泵油被污染氧化；或者前管路密封不好，泵油不足；或泵油乳化、轴封漏油、阀门损坏等故障。
用户最头疼的是检测漏检率的问题。泄漏分为内部泄漏和外部泄漏；外漏更容易检测，内漏更难。用火焰法可以找到较大的泄漏点，利用气流可以使火焰偏离的原理，先抽真空，用蜡烛或打火机在可疑点周围逐步搜索。如果发现火焰偏离到泄漏点，就可以找到泄漏点。我们可以用我们自制的检漏仪来检测旋转叶片泵工作范围内的泄漏，现在我们已经生产了ZHC.1仪器。检漏仪采用ZJ.2电离规管，连接到旋转叶片泵的吸入口进行检测。如果是扩散泵机组，可以检测l0Pa级的泄漏率。
