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磁控真空镀膜机设备的压力控制原理是什么

2021-03-19 16:42:53

      真空镀膜技术在工业生产和科学实验中的应用要求,真空镀膜设备真空室的真空度能满足真空过程的操作要求,保持稳定的压力值。现在,要完成这一要求,就不需要手动调节真空微调阀了。目前,压力自动调节模式的选择往往需要压力控制器的帮助。


       磁控真空镀膜机涂布机压力控制器通常由真空表、真空调节阀和自动调压电路组成。它是一种自动控制仪表,集压力调节和真空测量于一体。具有自动、手动调压功能。其性能指标主要包括:反应时间、流量控制范围、控制精度和压力控制范围等,这些性能取决于真空调节阀、控制电路和真空调节等涂层机部件的性能。

压力控制器的操作有两种方式:自动和手动

1手动 当开关转到手动开关位置时,压力控制器将进入手动压力调节模式,与上述手动调节真空微调节阀一样;

2自动的 当开关转到自动开关位置时,压力控制器将形成闭环自动控制形式,自动调节压力设定值。其调节原理是:首先由压力设定装置设定控制压力值,然后根据被控对象的特点,选择PID调节单元的微分时间、积分时间和比例度。当真空表输出电压信号(信号为控制涂布机真空室压力值),调压系统将通过比较将该值与压力设定值进行比较,计算两者之间的差值,然后采用驱动电路和真空调节阀将气体流转换为真空室,保持真空室的真空度,并保持在其压力设定值。

当然,上述真空镀膜设备的自动压力控制是基于理想的控制状态。在实际使用过程中,往往受压力控制系统中调压单元特性的影响,导致控制压力一般接近设定压力值(在允许偏差范围内)。压力控制器的压力控制精度越高,偏差越小,反之亦然。压力控制器广泛应用于真空镀膜、离子束刻蚀、半导体材料、离子注入等领域。

磁控真空镀膜机

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