为了保证真空设备或系统良好的密封性能，仅在设备安装后才能找到泄漏孔的位置是远远不够的。在真空设备或系统的设计、制造、调试和使用过程中，需要随时进行真空检漏。

一、镀膜设备厂家设计中的注意事项

1.根据设备的工艺要求确定真空设备的允许泄漏率，并根据这个总泄漏率确定各部件的允许泄漏率。

2.根据设备允许泄漏率等指标，在设计阶段初步确定采用的检漏方法，并将其作为指导调试验收的基本原则之一。

3.根据设备或部件的允许泄漏率指标，确定设备的密封、连接方式和整体加工精度，以及哪种动密封形式能满足要求。例如，法兰用金属或橡胶密封。

4.设计容器的结构强度时，如果采用压力法进行泄漏检测，应考虑被测零件的耐压性和结构强度。

5.在选择零件的结构材料时，考虑可能被工作介质和泄漏气体腐蚀的材料是否会造成损坏。

6.在结构设计过程中，应在容器或系统上预留必要的检漏仪备用接口，以便在设备组装和调试过程中进行检漏。特别是对于大型复杂的管道系统，通常需要采用分段检漏的方法，因此管道应设置分段隔离阀，并在每个隔离段上预留检漏接口。

7.设计零件结构时，尽量避免采用可能干扰检漏的设计方案。比如真空室的螺丝孔不能是盲孔，因为螺丝孔内部剩余空间的气体在安装螺丝后只能通过螺纹间隙逸出，造成虚漏。从而延长系统的泵送时间并干扰正常的泄漏检测。如图所示，真空检漏中不应出现的结构。

8.同样，结构设计中不允许连续双面焊接和多层密封圈结构，因为这样会在中间形成“寄生产物”，里面的气体会形成虚漏；但当内外双面焊缝或密封圈同时泄漏时，泄漏气体穿越双层焊缝的响应时间过长，无法正常检测泄漏。

9.磁控真空镀膜机设计焊接结构时，尽量减少最终组装后无法检测到的焊缝。

二、真空设备制造过程中的泄漏检测

在设备的加工阶段，需要遵循加工工艺(尤其是焊接工艺)及时检测半成品零件的泄漏。对于制造后不能接触、检查或修理的零件，应严格检查焊接质量，不合格的零件应及时重新焊接、修理和重新检查，符合要求后方可进行下一道工序。特别是对于大型容器的组装焊接和加工，中间过程的检漏非常关键，需要专门的检漏工具(如检漏盒和盲板等)。)应在必要时进行设计和制造。对于带有双层壁水冷套的真空室体，先将内室壁装焊并检查泄漏情况，确认无泄漏孔后再装焊外室壁。同理，对于室壁外侧有保温层，难以拆卸的情况，必须严格检查室壁有无渗漏，才能对外部结构进行涂覆。

在条件允许的情况下，所有真空法兰及其连接管道(包括真空室法兰和室壁)应采用焊后加工法兰面的工艺。即使焊后未加工的法兰在安装调试阶段可能满足密封要求，但在设备使用过程中，热、振动等因素可能会诱发焊接应力的释放，导致法兰变形，密封性能下降。