常规真空技术是指没有特殊要求的真空技术过程，这种真空装置(设备)对真空卫生的要求

(1)所有真空设备零件都要求无积聚污染源，表面无灰尘、铁屑和腐蚀；

(2)真空设备真空室表面光滑，无软组织和气孔，无内焊等影响真空的缺陷

(3)在高真空设备中，真空室内运动部件不得使用机油作为润滑剂，应使用饱和蒸汽压低的扩散泵油和硅油作为润滑剂；法兰和观察窗的密封部件应涂有高真空油脂；

(4)真空设备一般应在15~30℃、相对湿度不超过70%的洁净空气流通环境下工作，冷却水进水温度不超过25℃。

电真空技术对环境的要求。

电气真空结构材料除了具有良好的机械性能和加工性能外，还能满足其它性能要求，即易除气，饱和蒸汽压低，化学稳定性好，纯度高，清洁度高，辐射能力适宜等。因此电真空工艺具有特殊性，对清洗处理的要求非常严格，应尽量清洗或减少零件污染。

真空镀膜技术对环境的要求。

真空镀膜工艺衬底(基底)表面的清洗处理非常重要，基底进入镀膜室前应仔细清洗，以达到工件去油、去污、脱水的目的。基底表面污染来源于各种灰尘、抛光膏、油脂、汗渍等附着在加工、传输和包装过程中的零件；湿空气中产生的氧化膜；零件表面吸收吸附的气体。这些污垢基本上可以通过去油或化学清洗去除。