真空漏率如何测量？

2021-06-05 14:15:55

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真空泵信息:测量真空泄漏率的方法是用橙色容器的整个可疑区器的整个可疑区域(或被检容器中充满人的泄漏物质)，另一侧抽真空(或大气)；或者在被检容器的内外两侧形成压差(或泄漏物质的浓度差)，在低压(或低浓度)侧2表示泄漏物质的泄漏率和浓度变化。

(1)加压条件下容器泄漏率的测定。

在加压条件下测量儿童容器泄漏率的方法有气泡法、超声波法、气敏半导体泄漏检测法、氨泄漏检测法、卤素泄漏检测法、氮质谱泄漏检测法等。

(2)真空条件下容器泄漏率的测定。

1.使用接收真空容器的真空规则、离子泵和残留气体分析质谱计来测量容器的泄漏率。

2.可选择流盆测量、压力测量、卤素检漏仪和氮质谱检漏仪测量全漏率。

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(3)密封无损检漏。

1.尽可能使用密封件来指示密封件内部压力和泄漏物质分压的规则管和残留气体分析质谱计进行泄漏检测。

2.一些原本不测压的装置，如：电子管、显像管等，如果改变馈电方式，将其电极连接到电离规中，测量全出管内离子流的变化，就可以知道管内压力的变化率。当这种装置大量生产时，离子流的变化率可通过校准直接转换为漏率。

3.如果密封件内部有可以作为泄漏的物质，可以通过动态或静态方法检测泄漏到外面的泄漏物质，从而检测出泄漏孔。通常，这种密封件内的泄漏气体的分压高于背压法。因此，泄漏检测灵敏度高，成本低。

4.背压检漏适用于成批生产小密封时的检漏；可采用卤素检漏仪、氮质谱检漏仪、放射性同位素等检漏方法和仪器。