镀膜机的正确操作步骤

1、 电气控制柜操作

1.玻璃真空镀膜机水泵及气源

2.打开主电源

3.打开检修泵电源和真空表，将真空表设置在V1位置，等待其值小于10，然后继续下一次操作。大约需要5分钟。

4.

5.涡轮分子泵读数达到250后，关闭预抽，打开前机组和高阀继续抽真空。抽真空一定程度后，打开右侧高真空表观察真空度。2.× 10-3后，枪可以通电。

2、 def-6b电子枪电源柜的操作

1.总电源

2.真空镀膜机设备同时开启电子枪控制I、电子枪控制II电源：汽车玻璃涂层按电子枪控制I电源和延时开关，延时、电源、保护灯亮。3分钟后，延时和保护灯将熄灭。如果后门未关闭或水流继电器故障，保护灯将始终亮起。

3、高压接通时，高压达到10kV以上，束流可调节到200mA左右，帘栅20V/100mA，灯丝电流1.2A，偏转电流波动在1～1.7之间。

3、 停机顺序

1.关闭高真空计和分子泵。

2.分子泵显示50时，依次关闭高阀、前级和机械泵，时间约40分钟。

3.当低于50时，关闭检修泵。

涂布机常见故障及处理

未检测到面罩夹翻转信号：

1.检查转向信号源位置

2.手动短路转向输入信号，并使用转向检测功能。当计算机检测到信号时，证明了该问题存在于转向控制开关上，并根据实际情况进行了相应的处理。如果无法检测到信号，请先检查电路，然后更换控制卡。

面罩夹翻转不稳定

1.检查活门的初始位置是否与正时一致

2.为检测翻转控制开关是否工作稳定，指针万用表可用于跟踪和监控。

3.检查周转机构是否灵活可靠

4.检查转向信号频率设置

5.检查转盘与钟罩内壁是否有摩擦

6.旋转时检查转盘的稳定性

在同一掩模夹具中，频率色散较大

1.检查芯片本身是否存在较大的色散

2.检查薄膜校正板位置是否变化，重新调整校正板

3.开闭时，检查挡板是否完全覆盖钼船

4.检查轰炸环是否完全覆盖钼船

5.检查钼船使用是否符合要求，使用圆钼船

锅间的频率差很大

1.观察监视器是否有跳频现象

2.重复测量统一监控芯片，观察振荡器稳定性（不大于75Hz）

3.

4.检查钼船使用是否符合要求，使用圆钼船

5、监控胶片的选择是否符合要求，建议使用我公司的监控胶片

涂层频率不停止：

1.检查频率参数设置是否正确

2.钼船安培计有无指示

3.钼船上有银吗

4.监控跳频

5.校正系数是否错误

6.退场异常后是否更换过监视器

未找到测试频率：

1.更换监视器

2.检查试验弹片是否变形

3.使用5MHz晶体直接插入振荡器输入端，测量频率。如果存在频率，则证明探头存在问题。如果没有频率，用计数器测量振荡器的输出频率是否异常。如果没有正常输出，则证明了振荡器存在问题。如果输出正常，则证明控制卡存在问题

控制阀无动作：

1.检查5V电源是否输出，连接良好

2.

控制阀不能单独工作

1.检查是否对应so