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真空镀膜设备的维护与保养
1、真空镀膜设备每完成200道工序以上，应清洗工作室一次。方法为：用烧碱(NaOH)饱和溶液反复擦拭真空室壁(注意，人体皮肤不能直接接触烧碱溶液，以免灼伤)，目的是使镀上的膜料铝(AL)与NaOH反应，反应后膜层脱落，释放出氢气。真空室及布沾汽油再用清水清洗精抽阀内污垢。
2、当粗抽泵(滑阀泵，旋片泵)连续工作一个月(雨季减半)，需要换新油。具体做法是：拧开放油螺栓，放掉旧油，再启动几秒钟，使泵内旧油完全排出。旋回放油螺栓，加新油至额定量(油视镜观察)。如果连续使用半年以上，换油时应打开油盖，用布擦净箱内污垢。
3、连续使用扩散泵6个月以上，抽速明显减慢，或操作不当，充气时，拆掉连接的水管，卸下电炉盘，拧开一级喷嘴，先用汽油将泵腔及泵胆清洗一遍，再用洗衣粉兑水清洗一遍，然后用清水彻底清洗，待水份挥发后，装好泵胆，拧出一级喷嘴，再用洗衣粉兑水清洗一遍，然后用清水彻底清洗，待水份挥发后，装好泵胆，再用清水冲洗干净，待水份挥发干后，装好泵胆，再用清水冲洗干净，待水份挥发干后，装上新的泵胆，再装上新的水泵，再用洗涤剂清洗，然后用清水彻底清洗，待水份挥发后，装上新的泵胆，重启前应注意检漏工作。做法是：启动保养泵，关上门，几分钟后，观察扩散泵部分真空度是否达到6X10帕，否则要进行检漏。确认接头处是否有密封胶圈，或压坏密封圈。隐患排除后方可加热，否则油泵会烧环扩散，无法进入工作状态。
