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扩散泵是真空镀膜机很重要的构件，我们都知道，真空镀膜机是在真空泵情况下运行的，那麼真空泵箱体要做到真空泵，扩散泵不可或缺的。殊不知要确保真空镀膜机长期性稳定工作，扩散泵维护保养和保护是不可缺少的阶段。下边融成真空泵我为大伙儿介绍一下真空镀膜机的维护保养和维护专业知识，期待能幫助到大伙儿：
1、扩散泵工作中环节中冷却循环水务必确保通畅，终止加温后务必确保泵磨削液已彻底制冷之后才可关掉冷却循环水。
2、扩散泵停止工作时，泵内要维持真空泵情况，以防油阀劣变。
3、被抽汽体该是干躁、耐腐蚀、无尘土的汽体。
4、扩散泵如临时无需，存放期内应当维持真空泵情况，以防油阀环境污染和各零件浸蚀并将冷却循环水插入的剩水吹净。维持场所的室内温度应在10-40度中间。
5、扩散泵在长时间工作中后特性会慢慢受到影响，应定期维护。如：油阀是不是降低或空气氧化，按相对应规定给油或拆换解决；零件及泵腔首先用航空汽油清理，随后用甲苯开展清洗，并放置80-100℃溫度下烘干处理或用吹风机烘干。解决完后，按序开展安装，维持泵芯与泵底竖直与泵腔同舟，各个喷咀空隙要按原规定调节好。
6、待水份蒸发干之后装好泵芯，添加新扩散泵油，并再装人体，接好自来水管，装好加热炉盘，便可以再次启动。
7、在再次启动前，要留意测漏工作中。方式是：运行维护保养泵，关好真空系统门，数分钟后，观查真空值是不是6*10的0帕，不然要开展测漏，查验相接处是不是少装密封剂圈，或是压烂密封环。清除漏汽安全隐患后才可加温，不然扩散泵油会烧毁，没法进到运行状态。
真空镀膜机扩散泵维护保养维护恰当，立即影响到生产率及其产品成本。
