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磁控真空镀膜机要在真空环境情况下工作中，因而该设备要合乎真空泵对自然环境的规定。真空泵对自然环境的规定，一般包含真空泵设备对所处试验室（或生产车间）的溫度、空气中的粒子等周边环境的规定，和对处在真空环境情况或真空泵中的零件或表层规定2个层面。
这两个领域是有紧密联系的。周边环境的优劣可以直接危害磁控真空镀膜机的常规应用；而真空泵设备的真空系统或装进里边的零件是不是清理，又直接的危害设备的特性。假如空气中带有很多的蒸汽和尘土，在真空系统沒有通过清理的情形下用食油封真空泵去抽真空，要到预估的真空值难以的。密封圈式真空泵不适合抽除对合金有腐蚀、对真空泵油其反映的以带有颗粒物灰尘的汽体。水蒸汽为可凝气体，当很多抽除可凝气体时，对油阀的环境污染会较为严重，結果使泵的真空泵降低，毁坏了泵的吸气特性。
磁控真空镀膜机
工业生产室内环境中的烟尘是以粉末状体、眼无题、烟尘来确定的。粉末状体是粉末或液体颗粒物的结合或分散化情况的化学物质。所说粉末状就是指细微的固态颗粒物的结合，而颗粒物就是指可以一个一个记数的细微化学物质。浓烟体是以液体或溶液的细小颗粒物呈浮情况出现于空气中的化学物质管理体系。化学物质不论是固态也是液态，但凡呈颗粒物情况均可通称为细颗粒物。以尘粒直徑的多少来明确气体洁净度的规范，进而订制出净化室的级别。不仅适用于有清洁规定的产业部门，也合适于真空泵对清洁自然环境的规定。
