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当真空镀膜机发生故障后应先要向使用人掌握故障的状况，以后要亲自启动观查故障，那样能够更准确、更快、更有效地清除故障。
清除故障应先检验低真空泵是不是正常的（真空泵、罗茨真空泵、管路、下室、挥发室），低真空泵正常的后再开主阀，主泵正常的后检验下室真空泵中是不是正常的，下室真空泵正常的再开高阀开展高真空泵检验测漏，直到做到真空泵，极限值真空泵、保真空、修复真空泵，如极限值真空泵和保真空正常的，而修复真空泵和真空异常则很有可能主阀有什么问题。
今日给我们例举一些真空镀膜机应用全过程中多见的故障和解决方案。
一、当已经镀膜时真空值忽然降低
1、挥发源水道密封圈毁坏（拆换密封圈）
2、钳锅被打穿（拆换钳锅）
3、髙压电级密封性处被穿透（拆换密封圈）
4、工旋转密封性处密封圈毁坏（拆换密封圈）
5、预阀忽然关掉可能是二位五通阀毁坏（拆换二位五通阀）
6、高阀忽然关掉可能是二位五通阀毁坏（拆换二位五通阀）
7、真空泵关机可能是电磁阀断掉（查验电磁阀是不是正常的）
8、烤制引进线电级密封性处被穿透（拆换密封圈）
9、隔板动密封性处密封圈毁坏（拆换密封圈）
10、夹层玻璃观查视镜发生裂痕、爆裂（拆换夹层玻璃）
真空镀膜机
二、镀膜机真空包装时长太长，且达不上真空泵、修复真空泵、极限值真空泵、保真空
1、挥发室有很多烟尘（应清冼）
2、扩散泵好长时间未换机油（应清冼换油）
3、前面泵反气体压强很大真空泵真空值太低（应清冼换机油）
4、各动密封剂圈毁坏（拆换密封圈）
5、因为挥发室长期性环境温度过高使其各密封剂圈衰老（拆换密封圈）
6、挥发室各引进水道密封性处是不是有密封圈毁坏（拆换密封圈）
7、各引进座螺丝、螺帽有没有脱落状况（再次卡紧）
8、多少预阀是不是密封性靠谱（加油）
