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检查漏气是保证真空镀膜机真空度的一种方法，简称检漏真空度的不均匀直接影响镀膜效果，所以检漏必不可少。通常，真空室中的空气泄漏是从室壁上的一些小孔或组件前面的接头处发生的当抽气系统抽空气时，真空室内的压力降低，内外压力差使气体从高压的外部流向低压的真空室内，造成真空度降低。在检漏过程中，为了做好检漏工作，需要注意一些问题。
先检查漏气的虚漏是否还是实漏，因为工件数据加热后会不同程度的产生气体，可能会被误认为是从外面流入的气体这是虚漏，这种情况应该杜绝。
第二，测试真空室的气体密封功能，确保气体密封功能符合要求。
第三，看漏的大小和形状、方向，漏风速度，准备并实施可解方案。
第四，确定检测仪器的低检出率和灵敏度，以便大范围地检测漏气，防止某些漏孔被忽略，提高检漏的准确性。
第五，把握好检漏仪的反应时间和排除时间，把握好时间，确保检漏仪到位时间少了，检漏效果肯定差，时间长了，浪费检漏气体和人工电费。
第六，我们还应该防止漏洞堵塞有时由于操作失误，在检漏过程中，一些灰尘或液体堵住了漏洞，以为这个方向没有漏然而，当这些堵塞物由于内外压差或其他原因的进展而阻止泄漏时，泄漏仍然存在。做好真空镀膜机的检漏工作非常重要真空度降低的原因是多方面的我们应该逐一解决这些原因，以稳定涂层效果。
