本公司生产的卷绕式真空镀膜设备具有高真空获得能力,能够进行PET、PI等柔性薄膜材料的高精度往复卷绕传输,通过人机对话的形式来实现系统的工作数据显示、操作与控制,以实现真空系统的全自动预热操作,抽气和冷泵作业、红外线加热等。
本设备对柔性基体材料传动主辊、收卷辊、放卷辊的驱动装置采用司服电机进行调速,配合其张力传感器、来实现薄膜传输过程中收放卷卷绕的恒张力自动控制。
本设备的镀膜主辊配备了-套快速高效的真空镀膜专用加热装置,该装置用于在进行真空镀膜操作时将镀膜主辊表面加热至镀膜工艺要求的温度,用以加热被镀的基体材料。
本设备在真空工作室内装有一套大面积的低温冷冻盘管,利用进口低温深冷系统以抽除真空室水汽。
主机含一套离子源系统,对膜层进行改性处理,含水冷和充气系统,均匀性高。
可根据工艺要求配置MF孪和DC阴极系统。
真空室的结构为一卧式半圆柱形简体,真空室整体采用304不锈钢制造。
真空室正/反面各配有矩形观察窗1个,用以观察基体材料卷绕以及镀膜效果;侧面配有圆形观察窗可以辅助观察基体材料开卷及镀膜情况。
卷绕系统由基体材料卷绕装置和移动动力小车等组成。基体材料卷绕装置由放卷装置、镀膜主辊、收卷装置和部分导辊以及安装这些辊系的大、小墙板等部件组件组成。采用司服电机进行调速,配合其张力传感器、来实现镀膜过程中收放卷卷绕的恒张力自动控制;系统带有基体材料预紧(防松卷)等功能。
真空抽气系统采用分子泵、国产油扩散泵做为排气主泵,保证镀膜所需的的真空度。