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常规真空工艺对环境的要求

2021-05-13

常规真空技术是指没有特殊要求的真空技术过程，这种真空装置(设备)对真空卫生的要求(1)所有真空设备零件都要求无积聚污染源，表面无灰尘、铁屑和腐蚀；(2)真空设备真空室表面光滑，无软组织和气孔，无内焊等影响真空的缺陷(3)在高真空设备中，真空

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