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检漏仪对真空设备的作用
2021-01-27
真空检漏法:是指将管道和检漏仪的敏感组件置于真空状态,并将泄漏物质施加到管道外部。如果存在泄漏,泄漏的物质将通过泄漏进入被检零件和敏感元件的空间。一种通过敏感组件检测泄漏物质的方法。主要有真空计法,静态增压法,氦质谱检漏仪法。氦质谱检漏仪由
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