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真空设备中氦气检漏法是什么
2021-01-15
真空检漏法:是指管道和检漏仪的敏感元件处于真空状态,将泄漏物质施加到管道外部的方法。如果有泄漏孔,泄漏物质将通过泄漏孔进入被测零件和敏感元件的空间,泄漏物质将被敏感元件检测到。主要有真空计法、静态升压法和氦质谱检漏仪法。氦质谱检漏仪因其灵敏
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