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磁控溅射镀膜为什么是一种薄膜沉积

2021-01-22

随着经济和技术的快速发展，各种功能薄膜已经广泛应用于现代工业的各个领域。在各种制备薄膜的方法中，真空蒸发和磁控溅射是两种最重要的方法。目前，电阻加热真空蒸发镀膜机具有成膜工艺简单、操作方便的优点，但随着薄膜在高科技领域的兴起和发展，特别是微

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磁控溅射镀膜常见故障及解决办法

2021-01-09

磁控溅射镀膜是一种物理沉积(PVD)。磁控溅射通过在靶的阴极表面引入磁场并利用磁场抑

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